Elektretmikrofon
Mikrosystemtechnisch miniaturisiertes Elektretmikrofon für HighEnd Anwendungen
Projektleitung: Prof. W. Lang
Forschungsstellen
- Friedrich-Wilhelm-Bessel-Institut Forschungsgesellschaft mbH
Beschreibung des Projektes
| Auf dem Markt für Mikrofone werden heute auf der einen Seite billige Mikrofone in Siliziumtechnologie für den Frequenzbereich von 300 bis 8000Hz angeboten, die z.B. in Handys eingesetzt werden. Auf der anderen Seite gibt es sehr gute High-End-Geräte für den Frequenzbereich von weniger als 100 Hz bis zu mehr als 20000 Hz. Diese werden sehr aufwendig in Feinwerktechnik hergestellt. Dabei sind einige Parameter, insbesondere die Resonanzfrequenz der Membran, herstellungstechnisch bedingt, starken Streuungen unterworfen. Ziel des Projektes war es, ein Mikrofon in Siliziumtechnologie zu entwickeln, das einerseits die Vorteile der Mikrofertigung hinsichtlich der Kosten und der Reproduzierbarkeit nutzt und andererseits die Qualität der heutigen High-End Geräte erreicht. |
Veröffentlichungen
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Förderung
Laufzeit: April 2005 - März 2008
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Das IGF-Vorhaben 14382 der Forschungsvereinigung DFMRS e.V. wurde über die AiF im Rahmen des Programms zur Förderung der Industriellen Gemeinschaftsforschung (IGF) vom Bundesministerium für Wirtschaft und Technologie aufgrund eines Beschlusses des Deutschen Bundestages gefördert. |  |